발광다이오드(LED) 장비 전문업체인 큐엠씨(대표 유병소)는 시간당 1만개 이상의 LED칩을 검사할 수 있는 칩 프로브 장비를 개발, 출시했다고 15일 밝혔다.

이 제품은 LED 칩이 정상 동작하는지 여부를 검사하는 장비로, LED 칩 생산 공정에서 검사후 후공정의 수율을 예측할 수 있다. 검사 결과의 정확성을 향상시키기 위해 종전 웨이퍼 상태에서 검사하던 것과 달리 칩을 직접 검사할 수 있기 때문이다. 기존 웨이퍼 검사 방식은 수직 방향으로 나오는 빛이 많은 LED 웨이퍼만 더 밝게 측정됐지만 칩 검사 방식은 사방으로 방출되는 빛의 양을 모두 측정할 수 있다.

특히 큐엠씨가 선보인 프로브 장비는 시간당 1만개 이상의 칩을 검사할 수 있어 종전 장비들보다 생산성을 두 배 가량 끌어올렸다. 또한 프로브 카드를 제외한 별도의 부품을 바꾸지 않고도 다양한 크기와 종류의 LED 칩을 검사할 수 있어 LED 칩 모델 변경시 해당 장비의 부품 교체로 인한 비용도 줄일 수 있다.

유병소 사장은 "특히 차세대 LED 칩 구조인 수직형 LED 칩까지 검사할 수 있는 획기적인 장비"라며 "LG이노텍과 공동 개발을 통해 충분히 성능을 검증했으며, 향후 국내는 물론 해외 시장에도 적극 진출할 계획" 이라고 말했다.